日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計系列產品，測量范圍含蓋普通大氣壓的低真空到高真空((101kPa～1×10-7Pa)廣泛的量測范圍，機種豐富，齊全。按各種用途，使用環境，分為數字式，模似式，可供用戶選擇。特別是皮拉尼真空計（PIRANA VACUUM GAUGE）采對敏感壓力傳感器器件，對于壓力變力環境亦有長壽命，高信賴性，以前的皮拉尼真空計不能正測量的情況現在也可以測量。133.3Pa～大氣壓的減壓領域的高精度壓力測量開始可以實現了。同時，數字顯示皮拉尼真空計的PVD-9500-7型真空計也實現了化時代的價格。佐藤真空為廣大用戶提供了各種的產品線，給廣大用戶更多的選擇。
日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計技術參數
| 品名 | 型號 | 測量范圍 | 表示方式 |
|---|---|---|---|
| 薄膜真空計，隔膜真空計，電容真空計 | PVD-9500-5 | 119kPa～0.2kPa | 數字表示 |
| PVD-9500-L11 | 1333Pa～1Pa | ||
| PVD-9500-L21 | 13.3kPa～0.01kPa | ||
| PVD-9500-L31 | 133.3kPa～0.2kPa |
PVD-9500-5型真空計
操作簡單，真空控制方便，數字式真空計，具有如下特點：
真空壓力3點設定，可以適用于各種用途。
高信賴性的絕對壓真空計，采用擴散型半導體壓力傳感器，壓力變動劇烈的環境亦具有高信賴性，長壽命的特點。
| 測量范圍 | 119kPa～0.2kPa |
|---|---|
| 圧力単位 | kPa |
| 表示周期 | 10回／秒 |
| 控制輸出 | 接點輸出3點獨立 |
| 繼電器接點輸出 AC110V 6A， 220V 3A（電阻負載） | |
| 電源電壓 | AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA |
| 尺寸 | W120×D200×H90 mm |
| 重量 | 1.8kg 測定子380g |
| 測定子 | PS-900型 φ15測量接口， 2M接線 |
*可選項：接線3M，6M，12M/面板安裝支架（PM9321）
輸出線BNC接頭（PM9322）/電源3P-2P適配器（PM9324）
半導體壓力傳感器的工作原理
結晶體受到機械外力影響后結晶結構發生扭曲，壓阻效應使晶體本身的電阻發生變化。擴散型半導體壓力傳感器是硅經過薄化加工形成壓感薄膜（受壓部），形成擴散電阻。此薄膜受到壓力時，產生應力，應力的大小變化的同時，電阻隨之變化，就生電阻效應。
本真空計適用于各種品質管理，真空干燥，真空含浸等用途。
| 1) | 真空干燥：樹脂類的脫泡，醫藥品（搞生物質?人工肝臟）等食品的低溫干燥處理，電子元器件的真空測量 | |
|---|---|---|
| 2) | 真空含浸：發泡材等海棉材等的空氣去除，絕緣材類，防腐材料，硬化材料等的真空含浸的真空度管理。 | |
| 3) | 真空保存：無氧化氛圍氣（真空及不活性氣體的置換）中的氧化生材料?食品，藥品等的保存壓力的管理與監測。 | |
| 4) | 搬運設備（被搬運物的吸附確認）：真空吸附搬運系統，真空泵，真空傳感器的組合等的真空吸附的確認。 | |
| 5) | 簡易真空設備的應用。 |
PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31型真空計
測壓部件以超薄金屬膜制成的薄膜（隔膜）型真空計，以電極間的靜電容量的變化來反應真空壓力的一種真空壓力測量設備。零點的安定性高，測量范圍廣，腐食性氣體亦可使用。配備不同型號的測定子，可以做不同范圍的測量，按測量目的的不同可以選取不同型號的機型。
| 型號 | PVD-9500-L11 | PVD-9500-L21 | PVD-9500-L31 |
|---|---|---|---|
| 測量范圍 | 1333Pa～1Pa | 13.33kPa～0.01kPa | 133.3kPa～0.2kPa |
| 壓力單位 | Pa | kPa | kPa |
| 表示周期 | 10回／秒 | ||
| 控制輸出 | 輸出接點3點獨立 | ||
| 繼電器接點輸出 AC110V 6A, 220V 3A（電阻負載） | |||
| 記錄輸出 滿量程 0～10V DC | |||
| 電源電壓 | AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA | ||
| 尺寸 | W120×D200×H90 mm | ||
| 重量 | 1.8kg 測定子510g（ 接線7P-2ME 長2m） | ||
| 測定子 | L11型 | L21型 | L31型 |
*真空測壓口用部件選用1215PS（內徑12.7φ）
絕點精度
隔膜，薄膜真空計對單位面積的絕對壓力可以做到非常正確的測量。不受被測腔體內的氣體種類的影響，可以做到0.5%的精度的絕對壓力測量，一般可以做為壓力標準器使用。
零點安定性
采用雙測量電極的電極構造，內部的電路，構造等采用機械，熱力學的設計，減少了受周圍環境的影響。
再現性
隔膜，薄膜真空計的反復使用的測量結果的再現性可以達到1×10-4以上的精度。歸零，大壓氣的設定等測定范圍無不良影響。
真空測壓口用部件
油回收器（OIL MIST TRAP） |
自動防逆流閥 |
油面計 |
真空泵用油 |
|---|---|---|---|
真空用配管 |
真空閥門 |
特殊自動防逆流閥LCLV |
真空橡膠管 |
真空油過濾器 |
其它真空部件備品 |
KEYWORDS：佐藤真空， SATOVAC， 真空泵系列
點擊交流